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400-8686-737

EDP系列 隔膜閥

? 適用于超高純氣體、特殊氣體

? 極少顆粒產(chǎn)生

? 密封性好

? 耐腐蝕性強(qiáng)

? 閥體材料:316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

? 接口尺寸:1/4”- 1/2”

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產(chǎn)品參數(shù)

• 最大工作壓力:145psig(10bar)

• 工作溫度:-10℃-80℃(14℉-176℉)

接口尺寸:1/4”-1/2”

• 連接方式:卡套、螺紋、焊接、端面密封(ECR)

• 閥體材料:316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20

• 膜片材料:鎳鈷合金

• 密封材料:PCTFE、PFA、Vespel®

• 氦檢內(nèi)漏:1.0x10?¹?Pa·m³/s以下

• 氦檢外漏:1.0x10?¹?Pa·m³/s以下

• 使用壽命:400萬(wàn)次循環(huán)以上

• 閥門內(nèi)部流道: 電解拋光處理, Ra≤0.13 μm、Ra≤0.25 μm