致力于成為全球領(lǐng)先的
自動(dòng)化解決方案平臺(tái)
400-8686-737
? 適用于超高純氣體、特殊氣體
? 極少顆粒產(chǎn)生
? 密封性好
? 耐腐蝕性強(qiáng)
? 閥體材料:316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20
? 接口尺寸:1/4”- 1/2”
• 最大工作壓力:145psig(10bar)
• 工作溫度:-10℃-80℃(14℉-176℉)
• 接口尺寸:1/4”-1/2”
• 連接方式:卡套、螺紋、焊接、端面密封(ECR)
• 閥體材料:316L、316L VAR、316L VIM-VAR 符合 SEMI F20
• 膜片材料:鎳鈷合金
• 密封材料:PCTFE、PFA、Vespel®
• 氦檢內(nèi)漏:1.0x10?¹?Pa·m³/s以下
• 氦檢外漏:1.0x10?¹?Pa·m³/s以下
• 使用壽命:400萬(wàn)次循環(huán)以上
• 閥門內(nèi)部流道: 電解拋光處理, Ra≤0.13 μm、Ra≤0.25 μm