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自動化解決方案平臺
400-8686-737
• 適用于超高純氣體、特殊氣體
• 降低系統(tǒng)壓力
• 調(diào)節(jié)靈敏
• 耐腐蝕性強
• 閥體材料:316L、316L VAR符合 SEMI F20
• 閥體尺寸:1/4”-1/2”
• 進氣壓力:0-3500 Psig (0-241 bar)
• 出氣壓力:0-500 Psig (0-34 bar)
• 工作溫度: -40-74℃(-40-176°F)
• 閥體尺寸:1/4”-1/2”
• 連接方式:焊接、法蘭、端面密封(ECR)
• 閥體材料:316L、316L VAR符合 SEMI F20
• 膜片材料:Hastelloy® C-22 alloy
• 密封材料:PCTFE、Vespel®
• 氦檢內(nèi)漏:2.0x10-10Pa·m3/s以下。
• 氦檢外漏:4.0x10-9Pa·m3/s以下。
• 閥門內(nèi)部流道: 電解拋光處理,Ra≤0.13μm,Ra≤0.25μm