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400-8686-737

PZ系列 高純氣體適用一段式減壓閥

適用于超高純氣體、特殊氣體

• 降低系統(tǒng)壓力

• 調(diào)節(jié)靈敏

• 耐腐蝕性強

• 閥體材料:316L、316L VAR符合 SEMI F20

• 閥體尺寸:1/4”-1/2”

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產(chǎn)品參數(shù)

• 進氣壓力:0-3500 Psig (0-241 bar)

• 出氣壓力:0-500 Psig (0-34 bar)

• 工作溫度:   -40-74℃(-40-176°F)

• 閥體尺寸:1/4”-1/2”

• 連接方式:焊接、法蘭、端面密封(ECR)

• 閥體材料:316L、316L VAR符合 SEMI F20

• 膜片材料:Hastelloy® C-22 alloy

• 密封材料:PCTFE、Vespel®

• 氦檢內(nèi)漏:2.0x10-10Pa·m3/s以下。

• 氦檢外漏:4.0x10-9Pa·m3/s以下。

• 閥門內(nèi)部流道: 電解拋光處理,Ra≤0.13μm,Ra≤0.25μm